半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703D
¬ 最適合于檢測(cè)半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
¬ 采用聲光報(bào)警。
型 號(hào)
檢測(cè)對(duì)象氣體
半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
檢測(cè)原理
熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式
自動(dòng)吸引式
可檢測(cè)濃度
（單位：ppm）
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測(cè)表示
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度
10秒以內(nèi)
